我省集成电路装备进出口状况与发展建议

张 震  贾英姿  冯亦农  曲欣平

按照我省提出的先进装备制造业八大行业分类，依据《先进装备制造业进出口产品目录》划分的集成电路装备35类海关编码（HS8），收集整理了集成电路装备行业进出口数据，进行统计分析，并提出发展建议。

一、辽宁省集成电路装备进出口情况

2020年12月2日，国际半导体设备与材料协会（SEMI）在《全球半导体设备市场统计报告》（WWSEMS）中称，第三季度全球半导体制造设备订单总额为194亿美元，同比增长30%，环比增长16%。据国际半导体设备与材料协会（SEMI）预测，尽管受新冠疫情影响，2020年中国的装备支出仍将增长5%左右并超过120亿美元，比全球水平高2个百分点。2021年这一数字会猛增22%至150亿美元。

作为我国集成电路装备的进出口大省之一的辽宁，2019年，进出口总额为4.0亿美元，同比下降84.30%，占中国大陆出口的1.4%。其中出口额1.0亿美元，同比增长14.68%，排全国第5位；进口额3.1亿美元，同比下降87.69%，排全国第11位；分别占比为4.4%、1.2%。

其中，大连市出口占全省的54.1%，同比增长44.4%。沈阳市出口占全省的33.1%，同比下降2.1%。两城市出口额占全省的87.2%。从进口的主要城市来看，2019年，大连市进口占全省的94.1%，同比下降88.3%。沈阳市进口占全省的4.3%，同比增长24.8%。两城市进口额占全省的98.4%。

二、辽宁省集成电路装备进出口存在的问题

（一）国产集成电路装备尚未进入国际采购体系

国内集成电路装备行业处于局部有所突破，整体技术工艺落后状态。辽宁省（以沈阳市为代表）作为老工业基地，凭借多年积累的机械加工生产技术优势，建立了比较完善的集成电路装备和关键零部件配套生产体系。但由于技术实力的差距，辽宁省企业生产的集成电路装备尚未被外商投资企业大量采购和广泛使用，更未进入国际代工巨头的采购体系。

（二）大尺寸晶圆片生产设备和封装设备严重依赖进口

辽宁省集成电路普遍面临的产业链“短板”在于：一是因为国内大尺寸硅片严重依赖进口，不利于发挥国产设备的性价比优势；二是集成电路封装生产工艺中的核心设备（探针台、划片机、引线键合机等）进口依赖度高。沈阳市部分重点企业（沈阳拓荆为代表）偏重于生产化学气相沉积设备、离子注入机等整机和零部件，而大连集成电路产业链集中在IC设计和晶圆制造领域，大尺寸晶圆片生产设备和封装设备国产化程度非常低。

（三）省IC产业投资基金尚未发挥应有作用

集成电路装备的生产技术门槛高，前期研发投入大，新产品开发周期长，导致投资风险较高。但国家集成电路产业投资基金在设备方面的投资比例仅占总体的3%，这与装备产业在集成电路产业链中的地位与作用极不相称。辽宁省于2019年设立了“辽宁省集成电路和智慧产业发展投资基金”，目前披露的重点建设项目多属于智能传感器芯片、大尺寸硅片生产领域，但仍需要加大对其他集成电路装备制造的力度。

（四）IC企业融资渠道窄，对高端人才吸引力不强

辽宁省受限于历史因素，市场经济活力和企业发展动力相对较弱。目前在全省80多家集成电路相关企业中，仅有三家公司在上海证券交易所科创板和新三板成功挂牌上市。另有一家公司计划在新三板挂牌。其他企业受制于环境及自身因素，股份制改造和现代企业制度尚待建立或健全，对国内外高端人才的吸引能力较弱。

三、对我省发展集成电路产业的对策建议

（一）加强产学研协同创新，实现IC装备产业链自主可控

辽宁省科研优势比较明显，应在集成电路装备研发上实施政产学研用协同创新，补齐关键技术短板，建立重大项目联盟，联合申报国家IC重大专项，对标国际标准，破解“卡脖子”技术难题，加快实现关键设备自主可控。充分发挥中科院沈阳分院的统领作用，整合自动化所、金属所、计算所、47所、沈阳科仪、大化所等资源，加强与省内外企业的横向课题研究和联合技术攻关。大连理工大学微电子学院是东北地区唯一一所国家示范性微电子学院，可继续发挥人才培养和科研优势，做到产学研团结协作，解决本地企业的实际技术难题，力争快速提升半导体设备相关科研实力。引导省内科研院所、高校、企业组成联盟形成“产学研”正循环，努力在集成电路产业链关键设备方面实现基本的自主可控，最大化降低产业风险。

（二）破解企业研发投入不足问题，提升企业创新研发能力

辽宁省对集成电路行业越来越重视，计划打造全国集成电路装备重点基地。虽然2019年4月“辽宁省集成电路和智慧产业发展投资基金”首期20亿元人民币已到位，但该项基金是面向省内所有集成电路相关企业的投资资金，真正落实到装备制造企业的资金可能比较有限。由于装备企业在研发上投入的费用很高，有时会超过营业额的10％，建议出台专项的财税优惠政策,允许IC装备企业用于科研的费用跨年抵扣所得税。这既是对产业的进一步扶持，也是用财税手段鼓励企业加大科研投入。让企业用自己的钱去搞研发，企业的盈利越多，投入研发的积极性就会越高，投入的费用也会越多，可以形成正向循环。同时引导企业在研发上进行合作，避免重复投资，通过税收手段提升企业创新研发投入能力。

（三）畅通IC企业投融资渠道，吸纳高端人才，聚合全球创新资源为我所用

加速推进集成电路装备企业国际化进程，支持企业开展国际合作与并购，畅通融资渠道，建立符合产业发展规模和国际市场规则的现代企业制度，实行股权多元化改造，采取核心团队持股或实行期权等方式，广泛吸纳、引进国内外经验丰富的优秀人才，加快本地人才的培养，打造国际化的人才团队。建议省政府、各市政府对集成电路装备企业急需的高端人才，在户籍、个人税收、家属随迁、子女就学、签证等方面给予优惠政策。通过激励、吸引、培养等手段，进一步夯实产业人才基础。鼓励省内企业借鉴北方华创、沈阳芯源微电子、锦州神工等企业成功上市经验，实施期权激励试点，以利于凝聚和吸引全球高端技术人才，鼓励企业创建全球研发中心，持续激发企业活力和动力。

作者单位：

张    震   辽宁省先进装备制造业基地建设工程中心主任

贾英姿   辽宁省先进装备制造业基地建设工程中心副主任

冯亦农   辽宁省先进装备制造业基地建设工程中心进出口服务部部长

曲欣平   辽宁省先进装备制造业基地建设工程中心进出口服务部教授级高级工程师

孙   娜   辽宁省经济体制改革研究会秘书长

             辽宁省新型智库主任